雙重交聯(lián)硅氧烷ED200系列參數(shù)
| 產(chǎn)品 | 優(yōu)勢(shì) | 硬度 | 最大厚度 | R.I. @ 633nm | 固化溫度 | 溶劑 | 應(yīng)用 |
| ED200 | 高表面硬度 高透明度 |
9H | 950nm | 1.42-1.43 | 220oC /30min | PGME + PGMEA |
帶有SiNx的柵極絕緣體 金屬，玻璃，陶瓷的硬涂層 |
| ED210 | 非常低的Cu擴(kuò)散 厚膜 良好的電性能 |
6H | 2.2um | 1.52 | 220oC /30min | PGMEA | 用于Mo, Cu，銦鎵鋅氧化物薄膜晶體管柵極絕緣體 |
| ED220A | 非常厚的膜 優(yōu)秀的平面化 優(yōu)秀的電性能 |
4H | ?10~35 um 基于基材 |
1.50-1.52 | 250oC /30min | PGMEA | 用于MOS-FET, MEMS, PV 分子的電介質(zhì) |
| ED230L* | 120oC 固化 高透明度 高表面硬度 |
>= 6H on PET |
> 1 um | 1.45-1.46 | 120-140oC /10min | n-丙酸乙酯 | 塑料用硬透明涂層 |
| ED250L* | UV熱混合固化 高透明度 高表面硬度 |
9H | 10 um | 1.49 | UV 1 J/cm2 + Δ 120oC/3 min |
PGMEA | 塑料用硬透明涂層 |
備注：*??? 雜化硅氧烷材料
雙重交聯(lián)硅氧烷應(yīng)用
電絕緣，平面化，硬涂層，透明涂層